【96872691】 淄博高新区MEMS研究院志愿服务队

为发挥清华大学机械工程学院国家重点学科与高新区管委会科技创新的优惠扶持政策开发项目的优势，促进科技成果转化、进一步加强科技与经济的结合，经研究决定成立国家高新区MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统）研究院——淄博高新技术产业开发区MEMS研究院（以下简称MEMS研究院），2010年11月3日由清华大学机械工程学院与淄博高新技术产业开发区管理委员会签署共建协议建立MEMS研究院，MEMS研究院是微机电制造领域国内第一个校地共建研究院，是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。MEMS研究院集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才，在淄博专门从事MEMS微型传感器的研发和代工生产，硅基MEMS中试代工平台是山东省第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的平台。